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深圳市智佳能自动化有限公司
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晶圆外观检测机Z21130设备功能晶圆类：MiniLED晶圆、光敏二极管
晶圆外观检测机 Z21130
设备功能
⚪ 晶圆类：Mini LED晶圆、光敏二极管。
⚪ 正面：电极（缺陷、刮伤/刮痕、脏污、多金、鼓泡、方向）发光区（多胞、剥落、磊晶、崩边、变形、残留）隔离槽（脏污、划裂、超标、划伤、崩缺）。
⚪ 反面：切割不良、凹凸点、崩缺、失晶。
产品亮点
⚪ 搭配3种倍率镜组，使用者可针对晶粒或瑕疵尺寸选择检测倍率，系统搭配最小解析度为0.5um，通常可以检测1.5um左右的瑕疵尺寸。
⚪ 使用的打光成像技术，结合明暗光场方式和光源角度、亮度及取像模式，可对应不同种类缺陷成像。
⚪所有检测结果都会存档记录，提供瑕疵原始资料有助于分析生产瑕疵优势。
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