二次元影像测量仪的误差来源分析

　　二次元影像测量仪通常由机械、照明、测长、图像采集、计算机以及测量软件等六部分组合而成。在二次元测量仪上的测量都是单轴或者二维平面坐标的测量，测量的时候就先对焦，然后对准，再读数(计数)，最后计算处理。

　　读数来自于标尺即光栅系统，对焦对准依靠显微镜光学系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源。因为，基于影像方法测量的仪器，假如被测件不能被有效正确的照明，那么测量的结果显然要偏离其真实尺寸。

　　除前面所讲述的因素以外，环境条件也是制约测量精度不可忽略的因素。基于上述分析，能够归纳出二次元影像测量仪几个方面的误差来源：

　　1、光栅计数尺的误差;

　　2、工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;

　　3、工作台两测量轴垂直度带了的误差;

　　4、显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差;

　　5、测量室温度带来的误差;

　　6、光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。

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