本特利 3500/92 136180-01
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1．真空度（压力）控制概述
在许多真空系统中，为了实施特定的工艺过程或达到一定的实验条件，需要真空系统中的真空度恒定在特定以及关键的设定值，这就需要对真空系统内的真空度进行控制。真空度控制一般通过上游模式（upstreammodel）、下游模式（downstreammodel）和两种模式结合的方法实现。业内一般将上游模式定义为控制输入真空系统的气体，下游模式定义为控制泵送系统的节流，即以真空系统为参照物，真空系统上游的进气控制为上游模式，真空系统下游的出气控制为下游模式。
无论是自动的上游控制还是下游控制，都需要电动控制阀来实现。在目前国内外真空系统的真空度控制过程中，由于技术的限制，绝大多数还都是采用单一控制方式，即或是上游模式，或是下游模式。但随着双向控制技术的突破，可以实现上下游模式的同时控制。
本文详细介绍了真空系统中上下游真空度控制模式的特点以及在应用中存在的问题，介绍了双向控制技术的特点。
1．真空度（压力）控制概述
在许多真空系统中，为了实施特定的工艺过程或达到一定的实验条件，需要真空系统中的真空度恒定在特定以及关键的设定值，这就需要对真空系统内的真空度进行控制。真空度控制一般通过上游模式（upstreammodel）、下游模式（downstreammodel）和两种模式结合的方法实现。业内一般将上游模式定义为控制输入真空系统的气体，下游模式定义为控制泵送系统的节流，即以真空系统为参照物，真空系统上游的进气控制为上游模式，真空系统下游的出气控制为下游模式。
无论是自动的上游控制还是下游控制，都需要电动控制阀来实现。在目前国内外真空系统的真空度控制过程中，由于技术的限制，绝大多数还都是采用单一控制方式，即或是上游模式，或是下游模式。但随着双向控制技术的突破，可以实现上下游模式的同时控制。
本文详细介绍了真空系统中上下游真空度控制模式的特点以及在应用中存在的问题，介绍了双向控制技术的特点。
优势产品：
l Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。
l Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的现代化的容错控制器。
l Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。
l Schneider Modicon（施耐德*康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。
l ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
l Siemens(西门子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens数控系统等。
l Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
l XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。
l GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件。
l Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。
l Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。
l Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。
