晶圆自动切割机

晶圆自动激光切割机/SA-IR20W-A（底相机对准）型，相比传统机型增加自动上下料功能，主要为：增加底部相机、增加底部成像镜头、增加底部成像光源，可实现晶圆片底部对准，保留原有上相机功能，可实现正切和背切功能，增加自动取料，自动对位，自动下料功能。

技术规格                     项目                                   单位                                  数值

对准方式                                                 底部对准，兼容顶部对准 

加工尺寸               承片台                                 inch                                5英寸

切割深度               单晶硅                                  um                                ≤150微米

                                   激光器功率                             W                                20瓦

                                   激光器波长                            nm                               1064nm红外

激光器                         重复频率                               KHZ                              20千-80千赫兹

                                   切割线宽                                um                               40-60微米

切割参数                     切割速度                                mm/s                            150毫米每秒

工作台承载方式           大理石                                    mm                               厚度100毫米

                                   电源                                        AC                                两相220-240V50HZ

                                   耗电量                              KW                               2.0千瓦

                                   压缩空气供给压力                    MPa                             0.5-0.8兆帕

其他规格                      排风量（工厂自备）               m³/min                         3立方每分钟

                                   设备尺寸（W*D*H）                mm                             980*1270*1740毫米

                                   设备重量                                   kg                               660千克

                                   排风口口径                                mm                             50毫米

1）控制系统由专用PIC程序+电脑主机构成，故障率低，可靠性高，操作简单，易于维护。

2）切割传动方式通过直线电机传动，提高设备切割精度。

3）上下料传动采用电机传动。

4）上料采用感应器检测，无料，自动报警。

5）CCD自动对位。

6）收集盒方便取放。