● 最小光斑尺寸1um以下
● 镜头倍数2X-50X自动切换
● 自动AOI识别缺陷
● 手动、半自动、自动三种工作模式
● 支持图形绘制修复模式
● 支持组网支持MES系统
| 项目 | 技术参数 |
| 设备型号 | G6001 |
| 激光器 | 50uj@1030nm，300fs，5W，0-1000KHz |
| 平台精度 | 重复精度±0.5um，定位精度±1um@20℃±1℃ |
| 平台运行速度 | 运行速度100mm/s，速度1000mm/s |
| 平台运行加速度 | 运行加速度1.8G，加速度2.5G |
| 修复范围 | 300*300mm |
| 电动狭缝 | 0-2.5mm，步距0.1um，±45度可调±1度 |
| WDI | 相应时间50us |
| 相机 | 2000W像素，≤1微米 |
| 自动对焦 | 3s |
| 镜头切换 | 0.5S |
| AOI时间 | 5s/3亮点平方英寸 |
| 修复像素形状 | 条形、矩形、方形、菱形、圆形、多边形 |
| 修复产品 | Micro LED，Micro OLED HD，FHD，QHD，UHD 亮点修复 |
