特点
- 配备水平多轴机械手臂（GCR4310-500-AM）可以在没有机械手臂本体水平移动轴的条件下，同时满足4个6寸晶圆盒的晶圆传输
- 500 mm的Z轴行程可适应上下2层片盒的布局
- 配备手指翻转机构的机械手臂适应于在不接触晶圆工艺表面条件下的反装晶圆的传输
- 机械手臂腕部可以安装晶圆Mapping Sensor，用于片盒内各层晶圆的有无检测
- 出于安全面的考虑，设备维护门上安装有门开关传感器，保证机械手臂动作过程中的人员安全
- 可以选装能够检测玻璃（透明被搬运物）的校准器（SAL3361GR）
- 可以根据客户端设备需求，任意修改对接模块的设计（HOST通讯方式需要另行商议）
- 另外，根据客户需求，可定制不同规格要求的产品
适用多种设备，通用性好，可根据客户要求进行定制设计，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器
应用设备实例
PE-CVD设备
规格
| 被搬运物 | 150 mm 晶圆（玻璃, 蓝宝石, GaAs） | |||
|---|---|---|---|---|
| 处理量 | 140片/h（不包括装备的处理时间） | |||
| 动作范围 | 到达距离 （被搬运物体中心） | 旋转角度（θ轴） | 升降轴（Z轴） | 翻转轴 |
| 672mm | 335度 | 500 mm | 180度 | |
| 搬运速度 （平均速度） | 机械臂 | 旋转角度（θ轴） | 升降轴（Z轴） | |
| 550 mm/秒 | 300度/秒 | 300 mm/秒 | ||
| 搬运速度 （速度） | 机械臂 | 旋转角度（θ轴） | 升降轴（Z轴） | |
| 900 mm/秒 | 400度/秒 | 450 mm/秒 | ||
| 不配备翻转装置 真空吸引搬运 | 机械臂 | 旋转角度（θ轴） | 升降轴（Z轴） | |
| 1800 mm/秒 | 540度/秒 | 500 mm/秒 | ||
| 反复偏差值 | ±0.1 mm以内 | |||
| 位置精度 | 中心定位 ±0.2mm以内 切边定位 ±0.2度以内 | |||
| 位置确定所需时间 | 槽口检测 3秒以内 (不实行从新夹持动作) | |||
| 位置补正范围 | 半径4mm以内 | |||
| <系统> | ||||
| 晶圆保持方式 | 真空吸引 | |||
| 清净度 | ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下） | |||
| 占用空间 | 640 mm×835 mm (不包括触摸屏) | |||
| 质量 | 大约350 kg | |||
| 厂务 | 电源：单相交流200V±10% 15A 真空：-53 kPa以上 | |||
