NT系列机器人:
NT410 / NT510 单手臂
NT420 / NT520 双手臂
NT620悬挂式安装，双手臂
应用:
- 无尘室
无尘机器人外设:
- 抓手
- 校准器NS004
- 的伸展距离单个的NT系列手臂可以伸展到四个FOUP。选配的线性轴可以增加FOUP多到五个。高吞吐量标准NT机器人的吞吐量是用校准器280晶圆每小时（WPH）与不用校准器400WPH。可用选配的抓手，增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合规NT型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。SEMI S2合规NT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。碰撞检测软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。悬挂式安装NT620型号具有吊装规格设计，用于在化学液体环境中使用，同时满足ISO1级的要求。
应用范例
NT系列宽广的运动范围使其能够访问主室，而不需要一个梭子或额外的机器人。
布局范例
一个单个的NT系列机器人能够不使用轨道而只用2到4个FOUP就访问所有的EFEM。
NT系列机器人规格
型号 NT410 NT420 NT510 NT520 NT620 构造 水平多关节型 自由度 4 轴 5 轴 4 轴 5 轴 5 轴 运动范围 θ1 轴
(旋转JT2)340° 340° 340° 340° 340° Z 轴
(上下JT3)400 mm 400 mm 470 mm 470 mm 600 mm θ2 轴
(旋转JT4)340° 340° 340° 340° 340° H1 轴
(旋转JT6)340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 H2 轴
(旋转JT7)- 340° - 380° 380° 大伸展距离 1,230 mm 1,280 mm 1,230 mm 1,280 mm 1,250.7 mm 重复性 ± 0.1 mm （晶圆中心） 无尘度*1 ISO 1级 控制柜 D60/D61 (规格见无尘控制柜) *1: 于川崎的无尘间内测得
