NT系列机器人:
NT410 / NT510 单手臂
NT420 / NT520 双手臂
NT620悬挂式安装,双手臂
应用:
- 无尘室
无尘机器人外设:
- 抓手
- 校准器NS004
- 产品介绍
的伸展距离单个的NT系列手臂可以伸展到四个FOUP。选配的线性轴可以增加FOUP多到五个。高吞吐量标准NT机器人的吞吐量是用校准器280晶圆每小时(WPH)与不用校准器400WPH。可用选配的抓手,增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合规NT型号可以瞬时响应电波动,如电压下降,并且在电压恢复时自动恢复运行。SEMI S2合规NT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。碰撞检测软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能,以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。悬挂式安装NT620型号具有吊装规格设计,用于在化学液体环境中使用,同时满足ISO1级的要求。
应用范例

NT系列宽广的运动范围使其能够访问主室,而不需要一个梭子或额外的机器人。
布局范例

一个单个的NT系列机器人能够不使用轨道而只用2到4个FOUP就访问所有的EFEM。
NT系列机器人规格
型号 | NT410 | NT420 | NT510 | NT520 | NT620 | |
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构造 | 水平多关节型 | |||||
自由度 | 4 轴 | 5 轴 | 4 轴 | 5 轴 | 5 轴 | |
运动范围 | θ1 轴 (旋转JT2) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° |
Z 轴 (上下JT3) | 400 mm | 400 mm | 470 mm | 470 mm | 600 mm | |
θ2 轴 (旋转JT4) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° | |
H1 轴 (旋转JT6) | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | |
H2 轴 (旋转JT7) | - | 340° | - | 380° | 380° | |
大伸展距离 | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,250.7 mm | |
重复性 | ± 0.1 mm (晶圆中心) | |||||
无尘度*1 | ISO 1级 | |||||
控制柜 | D60/D61 (规格见无尘控制柜) |
*1: 于川崎的无尘间内测得