ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修
半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,并采用变频控制及两级闭环节能控制,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。
AC3系统的核心是ACP空气管理系统技术。在两端式的冷却操作中,提取冷却的空气。使用过的干燥的静静冷空气还可以作为节约成本的净化空气,重新吹向卡盘,以防止晶圆和其周围区域结冰。
ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修
应用于半导体制造和测试领域,包括晶圆测试、芯片封装等环节。在晶圆测试中,该系统能够实现对晶圆温度的精确控制,从而提高测试的准确性和可靠性。在芯片封装中,ERS Electronic AC3能够应对晶圆和PCB板的翘曲问题,确保封装的稳定性和质量。
zonglen chiller
温度范围:-20°C~+90°C
控温精度:±0.1℃
触摸屏操作,人机交互界面
连锁控制、可靠性高
定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能
温度波动小