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ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修

参考价 ¥ 8888
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  • 公司名称成都中冷低温科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       号
  • 所  在  地成都市
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2025/5/6 16:23:09
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       成都中冷低温科技有限公司总部位于中国成都,是一家专注于泛半导体温度环境解决方案的创新型高科技公司,中冷低温主要生产高低温冲击气流仪(ThermoTST热流仪)、接触式冷热冲击机(ATC/TCU)、高低温卡盘(ThermoChuck)、高低温测试台、高压加速老化试验机(PCT)、非饱和高压加速老化试验机(HAST) 、环境应力筛选系统、高低温循环箱、高低温冲击箱、气体制冷机、气体温控器、超低温制冷机。为晶圆、芯片、5G通讯、光模块、集成电路、航空航天、天文探测、电池包、氢能源等领域的可靠性测试提供整套温度环境解决方案和测试服务。中冷低温设备已出口俄罗斯、欧盟、泰国、越南、新加坡、马来西亚等。在天津、上海、苏州、深圳、武汉、重庆、西安设有办事处。



制冷设备、暖通设备、检测设备、仪器仪表、泵
ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修,AC3系统的核心是ACP空气管理系统技术。在两端式的冷却操作中,提取冷却的空气。使用过的干燥的静静冷空气还可以作为节约成本的净化空气,重新吹向卡盘,以防止晶圆和其周围区域结冰。
ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修 产品信息

ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修

半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,并采用变频控制及两级闭环节能控制,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。



AC3系统的核心是ACP空气管理系统技术。在两端式的冷却操作中,提取冷却的空气。使用过的干燥的静静冷空气还可以作为节约成本的净化空气,重新吹向卡盘,以防止晶圆和其周围区域结冰。



ERS AC3 TS010 Chiller不制冷 维修

应用于半导体制造和测试领域,包括晶圆测试、芯片封装等环节。在晶圆测试中,该系统能够实现对晶圆温度的精确控制,从而提高测试的准确性和可靠性。在芯片封装中,ERS Electronic AC3能够应对晶圆和PCB板的翘曲问题,确保封装的稳定性和质量。







zonglen chiller

温度范围:-20°C~+90°C

控温精度:±0.1℃

触摸屏操作,人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小














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