扫描电镜（scaning electromlcroscopy，SEM）是研究聚合物形态结构的一个重要工具，可以将微小物体放大几十万倍甚*百万倍，可以分辨零点几个纳米的结构。由电子枪发出直径为20~50um的电子束，经1～30kV的阳极电压加速后，再经过电磁透镜将它在样品表面汇聚成几纳米的细束，并在偏转线圈的作用下，对样品表面进行逐点扫描。由于激光入射电子束的能密度高、能量大，因此在与样品表面相互作用时能够激发样品产生多种物理信号（如二次电子、X射线、荧光等）.用信号检测器收集某种物理信号，经光电倍增管或前置放大器放大，再经视屏放大器放大即可作为调制信号，经阴极射线管转换成荧光品上显示样品表面特征的扫描图像。
为了进一步考察聚合物表面刻蚀后的表面形貌，用日立S-570型激光切割机扫描电镜观察了不同入射能量下PMMA刻蚀后的表面形貌。如（a）、（b）、（c）、（d）、（e）和（f）所示，（a）是未经刻蚀的PMMA表面，（b）、（C）、（d）、（e）和（f）的刻蚀入射能量分别为4.4J/cm2、8.8J/cm2、13.2J/cm2、17.6J/cm2和22.0J/cm2.
激光切割机入射能量在4.4J/cm2时刻蚀表面粗糙度Rq为0.33um，对应着（b）图的表面明显比其他几幅图有更多不规则的表面凸起；（c）图的气孔小而且均匀，其入射能量正好在9～11j／cm2之间；（d）、（e）和（f）三图的入射能量逐渐增加，不规则的大气孔逐渐出现，但变化趋势不是很明显，跟在入射能量达到10J／cm2后，粗糙度随着入射能量的增加缓慢增加相*。
在激光雕刻切割机入射能量为14.7J/cm2的条件下，我们测量了不同的激光雕刻切割机脉冲数下的刻蚀表面的轮廓偏距的算术平均值（表示为Ra）、均方根值（表示为Rq）和取样范围内5个zui大轮廓峰高和谷深的算术平均值（表示为Rz）。
由中可知，随着激光雕刻切割机脉冲数的增加，Ra和Rq逐渐增加，在第15个脉冲左右达到zui大值，随后逐渐变小。而微观不平整度Rz却仍然逐渐增加，近似和脉冲数的三次方根成正比.Ra和Rq与Rz的变化规律不同，这是由它们的定义和形成机制不一样造成的.Ra和Rq是由在激光雕刻切割机刻蚀过程中，聚合物碎片快速逃离刻蚀表面，形成了凹凸不平的微结构造成的。由于尺寸效应，微纳米级尺寸的微细结构的传热、光吸收特性、熔点等物理性质和块体材料有着显著的不同，比如光吸收率增加、熔点降低等。激光雕刻切割机刻蚀过程中微纳结构的形成和融化、解缩互相竞争，导致了Ra和Rq随脉冲数的变化。在开始刻蚀的前15个脉冲，微结构的形成过程占优，刻蚀区域形成凹凸不平的微结构，这些微结构之间的峰高和谷身之差随着脉冲数的增加而增加，所以Ra和Rq的值逐渐增加；在第15个脉冲以后，微结构的融化和解缩过程占优，凹凸不平的微结构逐渐开始融化、解缩，所以Ra和Rq的值又逐渐减小.Rz则是由于材料和光源的不均匀引起的，随着激光雕刻切割机脉冲数的增加，光源不均匀造成的影响增加，刻蚀深度增加，材料的不均匀程度造成的影响也有所增加，所以Rz是随着脉冲数的增加而不断增大。
