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深圳市韵腾激光科技有限公司
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产品名称:全自动晶圆标刻设备应用领域:适用于各种材料晶圆、包括Si、Si+背胶、Si+玻璃加工优势:可用于正面打标/背面打标,标记速度快,效率高,聚焦光斑小,能实现超精细标记,粉尘少,不用清洗,机器可适应6英寸,8英寸及12英寸晶圆标刻
产品名称:全自动晶圆标刻设备
应用领域:适用于各种材料晶圆、包括Si、Si+背胶、Si+玻璃
加工优势:
可用于正面打标/背面打标,标记速度快,效率高,聚焦光斑小,能实现超精细标记,粉尘少,不用清洗,机器可适应6英寸,8英寸及12英寸晶圆标刻。
技术参数 | |
激光器波长 | 532nm 355nm |
功率 | 5W 10W |
光束质量 | <1.3 |
激光安全等级 | Class IV |
扫描范围 | 290*290mm |
标刻速度 | 500字符/s |
加工精度 | ±0.05mm |
平台重复定位精度 | ±0.0025mm |
冷却方式 | 水冷 |
环境温度/湿度 | 20±2℃ / 30%-60% 无结露 |
整机耗电 | <4.5~6.0kw |
单机尺寸 | 1.8m*1.7m*1.9m |
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