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江苏京创先进电子科技有限公司
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适应范围： 主要用于材料制备、太阳能电池片、分立器件等行业中8英寸及以下晶片或器件的切割后冲洗干燥工艺。 主要特征： ☑工艺适应性强，可定制特殊工作台面； ☑动平衡精度高，可靠性强，确保设备运行稳定； ☑多种清洗模式，可选配二流体清洗、氮气清洗、超高压清洗等多种模式； ☑PLC全自动控制，触控操作，参数及清洗模式智能化编辑，操作简单方便。 ☑多种清洗模式，可选配二流体清洗、氮气清洗、超高压清洗等多种模式； ☑PLC全自动控制，触控操作，参数及清洗模式智能化编辑，操作简单方便。
技术指标：
| 工作物尺寸 | mm | ø 8"或160mm×160mm方形 | ||
| 工作转速 | r/min | 100 - 2400 | ||
| 防夹手装置 | - | 标配 | ||
| 其他 规格
| 电源 | V | 两相AC220V ±10％ | |
| 耗电量 | 加工时 | kW | 0.8（参考值） | |
| 暖机时 | kW | 0.2（参考值） | ||
| 压缩空气供给压力 | Mpa | 0.5 - 0.8 | ||
| 压缩空气消耗量 | L/min（ANR） | 150 | ||
| DI水压力 | Mpa | 0.25 - 0.4 | ||
| DI水消耗量 | L/min | 6.0 | ||
| N2压力 | Mpa | 0.25 - 0.4 | ||
| N2消耗量 | L/min | 200（Max） | ||
| 排风量 | m3/min | 2 | ||
| 设备尺寸（W × D × H） | mm | 400 ×600 × 1,400 | ||
| 设备重量 | kg | 约80 | ||
使用条件：
1. 请将机器设在20~25℃的环境中（波动范围控制在±1℃以内）；室内湿度＜80%，无凝结。
2. 请使用大气压露点在-15℃以下，残余油份为0.1ppm，过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。
3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃（波动范围在±1℃以内），冷却水的水温控制为与室温相同（波动范围控制在±1℃以内）。
4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外，请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。
5. 请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。
6. 请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。
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