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上海精切半导体设备有限公司
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4"，直流无刷，2.5kW，空气轴承主轴（转速30rpm），闭环转台
4"，直流无刷，2.5 kW，空气轴承主轴（转速30rpm），闭环转台。
经过优化，适用于200 mm x 200 mm较厚和硬质材料，比如：
• 玻璃
• DWDM滤光器
• 厚陶瓷基板
系统规格：
工件尺寸：200 x 200 mm
刀片尺寸：4"-5"
主轴：空气轴承，直流无刷，30 krpm/2.5 kW
分度轴（y）
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机
控制：线性编码器
分辨率：0.2 µm
累积精度：1.5 µm
分度精度：1.0 µm
传送轴（X）
气动滑块
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配直流无刷电机
传送速度：高达 600 mm/sec
切割深度轴（z）
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机
分辨率：0.2 µm
精度：2.0 µm
重复精度：1.0 µm
行程：50 mm
旋转编码器
Z线性编码器 - 可选件
Z间隙高达3" - 可选
旋转轴 (Ø)
驱动：闭环、直接驱动、直流无刷
精度：4 arc-sec
重复精度：4 arc-sec
行程：350度
视觉系统
数码摄像头、Fire-Wire技术、高亮LED照明（直射和斜射）
x55-x210或x35-x140（可选）连续数字变焦。
设施
电气：200-240VAC，50/60Hz，单相
气源：260 L/min @ 5.5bar
主轴冷却水：1.1 L/min厂务端用水
切割用水：3L/min
尺寸（WXDXH）
965×1300×1600 mm
重量：900 kg
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