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上海精切半导体设备有限公司
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ADT6110是一款高精度、高性能性能半自动切割机
ADT 6110是一款高精度、高性能性能半自动切割机。其机身宽度为490mm，占地面积小，结合全新设计的操作系统，提供高效、低使用成本的切割体验。
规格
刀片尺寸2英寸
工件尺寸6英寸
标配2.2kw高转速主轴（0.34N·m，60,000rpm）
θ轴 DD马达驱动，回转精度、回转分辨率高
自动校准，自动切割，刀痕检测
操作简易
17英寸触摸平 + GUI操作系统
残片识别功能
检查位置一键直达
多用途
精密加工碳化硅晶圆、陶瓷、玻璃等材质
高生产率
基于X,Y,Z轴的结构和运动的优化设计，大幅提高生产效率
紧凑设计
占地面积小到
| 工作盘尺寸 | φ 150 mm | |
| X轴 | 切割范围 | 160 mm |
| 进刀速度范围 | 0.1~800 mm/s | |
| Y轴 | 切割范围 | 162 mm |
| 单步步进量 | 0.0001 mm | |
| 定位精度 | 0.001/160 mm | |
| Z轴 | 行程 | 32.2mm(2英寸刀) |
| 分辨率 | 0.0001 mm | |
| 重复精度 | 0.001 mm | |
| θ轴 | 旋转角度 | 320 Deg |
| 主轴 | 类型 | 高速气悬浮主轴2.2kw |
| 额定扭矩 | 0.34 N·m | |
| 回转速度 | 6000~60000 rpm | |
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