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上海精切半导体设备有限公司
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前置挂载安装2"空气轴承主轴，60krpm时2.4KW
前置挂载安装 2" 空气轴承主轴，60krpm时2.4KW。直流无刷电机，闭环速度控制。兼容 2"-3" 轮毂和无轮毂刀片。覆盖 12" 的圆形产品、12" x 9" 方形基板带框架或 12" x 12" 卡盘（不带框架）。
系统配有闭环转向台，针对大面板和多面板进行优化，例如:
• 12"和8"硅晶圆• SAW过滤器
大面积系统配置：300mm x 300mm
刀片尺寸：2"-3"
主轴：空气轴承，直流无刷，60 krpm/2.4 kW
大功率2.4kW主轴（可选件）
分度轴（y）
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机
控制：线性编码器
分辨率: 0.2 µm
累积精度: 1.5 µm
分度精度: 1.0 µm
传送轴（X）
气动滑块
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配直流无刷电机
传送速度：高达 600 mm/sec
切割深度轴（z）
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机
分辨率: 0.2 µm
精度: 2.0 µm
重复精度: 1.0 µm
行程: 50 mm
旋转编码器
Z线性编码器 - 可选件
Z间隙高达3" - 可选
旋转轴 (Ø)
驱动：闭环、直接驱动、直流无刷
精度: 4 arc-sec
重复精度: 4 arc-sec
行程: 350 deg.
视觉系统
数码摄像头、Fire-Wire技术、高亮LED照明（直射和斜射）
x55-x210或x35-x140（可选）连续数字变焦。
设施
电气：200-240VAC，50/60Hz，单相
气源: 260 L/min @ 5.5 bar
主轴冷却水：1.1 L/min厂务端用水
切割用水：3L/min
尺寸（WXDXH）
965×1300×1600 mm
重量: 900 kg
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