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武汉元禄光电技术有限公司
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窄脉宽红外纳秒激光刻蚀机，适用于FTO、ITO、氧化锌镀层玻璃、薄膜激光刻蚀。设备标准尺寸600*600mm、600*1200mm，可以满足10*10mm到300*300mm内的加工需求。
采用窄脉宽红外纳秒激光器，适用于FTO、ITO、氧化锌镀层玻璃、薄膜激光刻蚀。设备标准尺寸600*600mm、600*1200mm（同时预留出小面积300*300mm内的小幅面加工需求）。可以满足10*10mm到300*300mm内的加工需求。
设备简介
设备采用固体激光器，激光波长1064nm，适合对导电玻璃、薄膜进行精细激光刻蚀；采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀，操作简单，方便快捷；采用通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计，加上真空吸附托盘装置，能有效地解决激光刻蚀加工运行中的平稳性；采用除尘系统设计，能保证玻璃、薄膜与工作平面的清洁。
设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体，具有高灵活性、高精度、高速度等制造技术的特征。可大范围内进行各种图案，各种尺寸的精密、高速刻蚀，并且能够保证很高的产能，是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。
适用材料
玻璃、PET基底上薄膜激光刻蚀，触摸屏、光伏太阳能电池、电至色玻璃、其它显示屏。可用于导电银浆、ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、碳粉、金、银等导电金属、氧化物材料处理（只能针对单层材料激光刻蚀）。
整体说明
主要构成：激光器、光路系统、工作台、控制系统、 定位系统、 抽尘系统、 真吸附空系统等。
型号 | ET650-NF 氧化锌、ITO、FTO激光刻蚀机 |
激光器 | 窄脉宽红外纳秒激光器，波长1064nm |
加工幅面 | 600*600mm/1200*600mm（可定制） |
聚焦光斑 | ≥20μm |
激光器频率调节范围 | 100K-500KHz |
刻蚀最小线宽 | ≥20 um（可以去除95%以上的氧化物镀层） |
整机精度 | ±20μm |
最小线间距 | ≥20μm |
工作台定位精度 | ±2um |
工作台重复精度 | ±1um |
CCD自动定位精度 | ±2um |
刻蚀速度 | ＜4000mm/s |
设备尺寸 | 1650mmL×1500mmW×1750mmH |
设备重量 | 1800kg |
功率消耗 | ＜3000W |
可处理文件格式 | 标准CAD DXF文件 |
注：根据实验室前期实验性阶段需要，武汉元禄光电针对性开发出了实验室阶段小型激光刻蚀机，适用于100*100mm以下导电玻璃激光刻蚀、划线应用，欢迎前来咨询了解。
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