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北京锐洁机器人科技有限公司
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能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。
能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。
高温PVD设备；刻蚀设备等
| 被搬运物 | 〜300 mm晶圆 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （手臂第3关节中心基准） | 635 mm | 360度 | 60 mm |
| 搬运速度 | 640 mm/1.0sec | 180度/1.1sec | 60 mm/1.0sec |
| 精度 | 第1关节轴（J1轴） 第2关节轴（J2轴） | 第3关节轴（J3轴） 第3关节轴（J5轴） | Z轴（J4轴） |
| 0.00081度 0.00081度 | 0.00072度 0.00072度 | 0.98µm | |
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| 洁净度 | 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置 | ||
| 耐真空度 | 1×10-6Pa | ||
| 厂务 | 电源：単相AC200～230V 2kVA 50/60Hz | ||
*测试机型：GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的标准品 (搬运物体，以及手指形状的不同上述测量结果会不同)
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