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北京锐洁机器人科技有限公司
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产品,稳定性好,性价比高,也可用于搬运托盘
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PE-CVD设备;刻蚀设备;高温PVD设备
被搬运物 | 〜300 mm晶圆 | ||
---|---|---|---|
手臂 | 旋转 | 升降 | |
可动范围* (手臂第3关节中心基准) | 520 mm | 330度 | 40 mm |
搬运速度 (平均速度)* | 300 mm/sec | 120度/sec | 20 mm/sec |
搬运速度 (速度)* | 550 mm/sec | 170度/sec | 30 mm/sec |
精度* | 82 µm | 0.009度 | 1.25 µm |
搬运高度* | 98 mm(法兰安装面到手指安装面的高度) | ||
重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
洁净度 | 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置 | ||
耐真空度 | 1.33×10-6Pa | ||
厂务 | 电源:DC24V±10% 8A |
*测试机型:SVCR3260-040-PM(步进电机规格)(中具有代表性的标准品)
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