el1144倍福模块总线模块原装倍福BECKHOFF“Beckhoff 控制器完*够应对这一挑战。它 们坚固耐用，甚至在从无摩擦到摩擦状态转换过程中也足以 避免出现峰谷。” 长度测量传感器可当前的龙门架和滑块位置，并且，测 得的数据直接通过伺服驱动器处理。*测量激光束的当 前位置。位置数据在测量数值补偿单元中加以分析，并作为 控制激光束定位用压力系统的基础。
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“甚至可通过 Beckhoff 组件将外部驱动系统，如压力系统，集成入自动化解决方案 中，不会影响整个系统的性能。”Stefan Scharl 说道。 “由于外形小巧，并集成有 EMC 过滤器和可插拔式连接器， 我们能够轻松地在控制柜中安装伺服驱动器。”Tobias Reiter 如是说。
由于位置测量装置具有热敏性，功率电子元件安装 在清洁室外的控制柜内。“为了确保能充分曝光，光纤电缆 不能太长。第二个控制柜内包含有激光光纤耦合器，测量装 置安装在系统附近的清洁室内，并在曝光过程中以与龙门架 平行的方向移动。”Stefan Scharl 说道。用于龙门架的直线电 机和用于控制柜的驱动器通过 PLC 控制器作为主站和从站 轴耦合。 具有高度灵活性，适用于批量生产 串统一个重要的成功要素就是灵活性。
“由于 Beckhoff I/O 系统后续扩展的模块性，修改和重新配置都简单易行。 这使得我们能够根据客户要求进行修改，如可以毫不费力地 更改光源数量。”Stefan Scharl 解释说。Tobias Reiter 补充道： “此外，我们用软件而不是硬件创建了多个功能，如安全功 能：通过引用总线端子模块系统中的安全端子模块，我们能 够便捷地实施安全功能，如急停和安全门电路或通过调整或 更换软件进行其它修改。” Kleo Halbleitertechnik GmbH, www.k
