el1202数字量端子*全新BECKHOFF倍福PLC*现货大部分的半导体产品 – 例如，处理器和内存 – 都是硅设
备，而现在，其它很多产品，包括发光二极管（LED）和微
波元器件，则是由其它半导体材料制成，比如氮化镓和磷化在使用这些特殊半导体材料制造产品时的一个关键工艺
就是空白晶圆的生产，实际上，它是一种制造成品设备的原
材料。
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开发、生产并供应 MOCVD 反应器来生产这些晶圆
是 Thomas Swan Scientific 公司的主营业务，而其母公司
Aixtron AG 则是的化学气相淀积设备供应商。
MOCVD 的工艺原理并非深奥难懂。对于每个待制造的晶圆（一种基片）通常是由蓝宝石或硅制成，放置在反应器中el1202数字量端子*全新BECKHOFF倍福PLC*。
然后，各种气体 － 有些含有所需半导体材料 － 被吸入到反应器室内。如果气体的温度和压力以及基片的时间 / 温
度分布能够受到精确控制，超纯半导体材料就能够沉积在基
片表面形成一层薄的金属膜，然后制成成品空白晶圆MOCVD 的工艺原理并非深奥难懂。对于每个待制造的晶圆
（一种基片）通常是由蓝宝石或硅制成，放置在反应器中。然后，各种气体 － 有些含有所需半导体材料 － 被吸入到
反应器室内。如果气体的温度和压力以及基片的时间 / 温度分布能够受到精确控制，超纯半导体材料就能够沉积在基**
片表面形成一层薄的金属膜，然后制成成品空白晶圆。虽然工艺原理可能简单易懂，但在生产设备的可靠部件中实
施这些方案却是一个非常有挑战性的任务。
创新设计是*的一部分，Thomas Swan *的喷淋领头式气体喷嘴
设计方案就的例证。顾名思义，它看起来就像是一个
老式的扁平喷嘴，表面布有很多小孔。这种喷嘴用于将气体导入至反应器，它的这种布置可确保气体均匀分布在贴近喷
嘴处的基片表面。由于该喷嘴有独立的通道，可用于两种气体，因此，它也可确保在用一种以上的气体时，仅在进入反
应器的时刻才混合。这一点非常重要，因为有些气体混合物反应形成的固体化合物可能会堵塞其它类型的输送统*。
可灵活应对各种需求变化的控制系统创新的工艺设计只能应对生产可靠、有效的 MOCVD 反应
器过程中的部分挑战。精确、可靠的控制也至关重要，考虑到半导体行业的发展如此迅猛，其市场需求也会不断变化，理想的情况就是，所选用的控制系统必须能够为未来的发展
提供保证。
