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上海精切半导体设备有限公司
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处理生产挑战鉴于LED细分市场不断增长，和降低单位生产成本（CoO）的需求，ADT推出了7900Duo型双主轴系统，在不增加生产占地面积的基础上，将生产率提高了一倍
处理生产挑战
鉴于LED细分市场不断增长，和降低单位生产成本（CoO）的需求，ADT推出了7900 Duo型双主轴系统，在不增加生产占地面积的基础上，将生产率提高了一倍。
7900 Duo系统为需要长切割周期的应用（如图像传感器和切割设备）提供了的解决方案。
除了自动视觉和易于使用的新用户界面 （NUI） 之外，ADT还提供了一项的功能，对破损晶圆进行处理和编程。
7900系列优点：
• 两个对向主轴，可同时切割
• 低振动平台
• 快速自动对齐和切割定位，提高产量
• 占地面积小，降低拥有成本
• 自动刀痕检测，提高产量
• 自动Y偏移校正，确保精度
• 胶带表面检测，确保一致的切割质量
• 触摸屏用户界面
系统规格：
工件尺寸：
7900 Duo 8" x 8"
7920 Duo 10" x 10"
7930 Duo 12" x 10" 或 12"直径。
79LD 11" x 11"
刀片尺寸： 2"- 3"
主轴：两个相对主轴，60Krpm，2.5 kW，额定扭矩0.25 Nm
Y1/Y2 轴
驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机
控制：线性编码器
分辨率：0.1 µm
累积精度：1.5 µm
分度精度：1.0 µm
切割范围： 7900 Duo 8"
7920 Duo 10"
7930 Duo 12"
X 轴
驱动装置：滚珠轴承丝杆
空气轴承滑块
传送速度：高达 600 mm/sec
切割范围：410mm
Z1/Z2轴
驱动装置：滚珠轴承丝杆
分辨率：0.2 µm
精度：2.0 µm
重复精度：1.0 µm
行程：40mm
Ø 轴
驱动：闭环、直接驱动
精度：4 arc-sec
重复精度：4 arc-sec
行程：350度
视觉系统
数码摄像砂，Fire wire链接
高亮LED照明（直射和斜射）
设施
电气：200-240VAC，50/60Hz，单相
气体消耗：260 L/min @ 5.5 bar
切割水（各主轴）：3 L/min
主轴水（各主轴）： 1.1 l/min
尺寸 (WxDxH):
875 x 975 x 1450 mm
875×975×1450 mm
重量：900 kg
特点：
自动对齐
自动刀痕检测
自动Y偏移校正
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