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上海精切半导体设备有限公司
高效的紧凑型清洗装置,为您的流程提供支持ADT977晶圆清洗机系统设计用于在切割后清洁工件
ADT 977晶圆清洗机系统设计用于在切割后清洁工件。
系统有三种基本配置:
• WCS-977:圆形晶片,8"
• WCS-97LA:圆形晶片,12"
系统亮点:
• 雾化清洁
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