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北京锐洁机器人科技有限公司
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用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂。单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。适用于300mm半导体生产设备内部，适用于EFEM的晶片搬运。
与我司以往产品的GTCR相比，减少动作禁止区域、速度限制的影响，提高传片效率。
（比本公司以往产品提高60%）
| 机械手臂型号 | GTFR5280-320-DM | |
|---|---|---|
| 被搬运物 | ～300mm晶圆 | |
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | |
| 机械结构格式 | 水平多关节 | |
| 控制轴 | 5軸 | |
| 电机类型 | 全轴采用AC伺服电机, 无需电池 | |
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 升降(Z轴) |
| 893mm | 320mm | 搬运速度(平均) | 手臂(R轴) | 升降(Z轴) |
| 900mm/sec(圆筒动作时) | 320mm/sec | 搬运速度() | 手臂(R轴) | 升降(Z轴) |
| 1,500mm/sec(圆筒动作时) | 540mm/sec | |
| 重复性精度 | ±0.05 mm以内 | |
| 洁净度 | ISO标准 Class 1 | |
| 厂务 | 电源：単相AC200V±10% 2kVA 真空：优于-75kPa(使用真空吸附式手指) | |
| 质量 | 机械手臂体 大约80kg | |
上述规格为本司使用标准真空吸附方式手指情况下的标准机械手臂规格的一个示例
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