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北京锐洁机器人科技有限公司
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3个新功能：采用闭环位置控制电机配备值编码器编码器不需要更换电池
对闭坏控制方式机械手臂加上疑似多轴规格。
没有水平移动轴也能够搬运到并立配置的开闭安全门台，由于布局设计运用自如，降低成本。
*加上揭载了搬运介绍动画疑似多轴规格
EFEM，PE-CVD设备，AOI设备
| 被搬运物 | 2, 3 寸, 100～300 mm 晶圆 （其他可根据特殊晶圆的形状，材质为客户提供灵活的定制设计） | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （手臂第3关节中心基准） | 315 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬运速度 (平均速度)* | 570 mm/sec | 220度/sec | 200 mm/sec |
| 搬运速度 (速度)* | 1140 mm/sec | 270度/sec | 250 mm/sec |
| 精度* | 10.0µm以下 | 0.0015度 | 2.0µm |
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 10A 真空：优于-53 kPa | ||
*测试机型：STCR4160SN，使用JEL标准真空吸附式手指
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