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北京锐洁机器人科技有限公司
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超洁净无尘间用300 mm晶圆对应MTCR4000系列适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求比MTHR系列具有更好的性价比优势
双手臂结构，晶圆搬运效率更高，可使用AC200伏电压
EFEM；PE-CVD设备；AOI设备
| 被搬运物 | 〜300 mm晶圆 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （手臂第3关节中心基准） | 315 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬运速度 (平均速度)* | 850 mm/sec | 340度/sec | 330 mm/sec |
| 搬运速度 (速度)* | 1800 mm/sec | 550度/sec | 500 mm/sec |
| 精度* | 9.82 µm以下 | 0.0015度 | 1.96µm |
| 搬运高度* | 674.5 mm（底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度） | ||
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
| 厂务 | 电源：単相AC200V±10% 3 kVA 真空：优于-53 kPa | ||
*测试机型：MTCR4160-300-AM，使用JEL标准真空吸附式手指
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