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北京锐洁机器人科技有限公司
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超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SCR3000CS系列适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
产品，稳定性好，性价比高
EFEM，PE-CVD设备，AOI设备
| 被搬运物 | 〜300 mm晶圆 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （手臂第3关节中心基准） | 340 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬运速度 (平均速度)* | 610 mm/sec | 340度/sec | 250 mm/sec |
| 搬运速度 (速度)* | 1220 mm/sec | 500度/sec | 320 mm/sec |
| 精度* | 12.6µm以下 | 0.0045度 | 6.25 µm |
| 搬运高度* | 536mm (底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度) | ||
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 15A 真空：优于-53 kPa | ||
*测试机型：SCR3160CS-300-PM，使用JEL标准真空吸附式手指
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