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全自动晶圆裂片机

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  • 公司名称苏州天弘激光股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地苏州市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/12/15 6:37:31
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苏州天弘激光股份有限公司始创于2001年1月,注册资本7232万元。公司专注于工业数字化智能装备的研发、制造和服务,是以激光技术为核心的数字化智能装备及自动化产线提供商,主要为下游客户提供“激光+机器视觉+自动化+MES”的综合解决方案。产品涉及激光焊接应用装备及自动化生产线、激光精细加工系列设备、激光切割机系列设备等三大类百余种智能装备及产线,主要应用于新能源锂电行业、新能源光伏行业、半导体行业、汽车及汽车零部件行业等。技术涵盖:软件、机械、电气、运动控制、机器人、光学、图像、材料、激光等。 现分别设有苏州总部、浙江公司、宿迁公司、广东公司。
激光切割机
该设备主要针对GPP晶圆开发的一种自动裂片设备;配备自动上下料、Z轴压力感应、视觉角度矫正、双片检测、自动喷液功能。
全自动晶圆裂片机 产品信息

产品特点:

» 该设备主要针对GPP晶圆开发的一种自动裂片设备;配备自动上下料、Z轴压力感应、视觉角度矫正、双片检测、自动喷液功能;
» 该设备机械良率高,裂片效率快;
» 全中文操作界面,操作直观、简易,界面良好;
» 工艺参数可存储调取,操作简便;
» 压力数值感应,可曲线图显示;
» 自动排液系统。

 

规格参数:

 

技术规格 晶圆裂片机
加工速度 100-120pcs/H
运用领域 晶圆半切割划片后,裂成散粒
上下料方式 全自动模组
控制方式 软件
压力控制 ±2.5N
矫正方式 CCD
矫正精度 ±0.4°
良品率 ≥99.5%
裂片滚棒硬度 ≤90HRC
垫层厚度 ≥5mm
划片速度 250mm/s-300mm/s
切割深度 ≤120um
对位方式 模板匹配
视觉处理 二值化处理
X/Y轴移动范围 140mm
θ轴 270deg
平台水平度 5-15um
激光器 锐科30W/IPG20、30W
关键词:PP
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