紫外激光雕刻切割机东莞激光厂家
【简单介绍】
【详细说明】
准分子激光光束内的点到点的能量分布变动超过±l0%.这个数值对大面积高精度的烧蚀加工应用而言是偏大了。从原理上将,均束光学系统将光束切割成多片,并相互混合,zui终完成完整的均束分布。
准分子激光雕刻切割机激光光束的均匀方案有许多种,包括棱镜法、万花筒法、波导腔法、二元光学法、非球面透镜法、全息光栅滤波器法、反射镜折叠光束法、光幅倒置叠加法、复眼、光纤、多孔膜。
棱镜法是用一菱形对称棱镜将原光束沿短轴方向中心对称的切割成两束,并在棱镜后一位置重叠。激光雕刻切割机方法的优点是结构简单,但缺点是仅在输入光束严格对称才令人满意,并且获得均匀光束截面的位置极严格地对称于光楔的角度。
万花筒法是将光束入射到一万花筒式的光学反射腔中。它的优点:制作、装调简易,价格低廉。但缺点是光能损失较大。当光强分布近似高斯分布的入射光以zui大入射角‰进入光波导后,只有和透镜光轴平行的或和光轴成一较小夹角的光线不经过反射直接通过波导管,其余入射光的光线将在波导管内产生反射到达输出面的不同点上。
波导腔法是将准分子激光入射到一波导反射腔镜中,利用类似光纤传导的原理混合激光模式,实现对原光束的均束。激光雕刻切割机优点是光能损失低,但缺点是均束效果不太理想。
二元光学法是制作二元光学的光变换器件,利用波动光学的原理,对准分子激光光束进行均束变换。它的缺点是制作过程复杂。
非球面透镜法是根据准分子激光光束分布来设计制作非球面透镜,缺点是光学设计、加工不容易。
全息光栅滤波器的缺点是它采用有机物基材,限制其在高功率紫外激光切割机的应用。
光幅倒置叠加法的缺点:光效率低(60%).方法原理由四片柱面镜围成一个中空的方形结构,每片柱面镜安装在一个精细调整架上,通过调节可以控制中空部分的尺寸和形状,激光切割机中激光照射在装置上,中空部分激光直接透过,照射在边缘柱面透镜上的光将补偿到中间光的弱光强部分,通过计算柱面镜的参数和适当调节调整旋钮,就能得到均光效果。这种方法的优点是光束透过率较高,均光效果较好,但设计人员要求较高,设计人员需要计算镜片参数及设计高精度的微调机构。
反射镜折叠光束法,工作原理当一束光强分布近似高斯函数的准平行激光束经过透镜Li聚焦到反射镜Mi上,经过一次反射后,其能量分布将按照图所示发生光束方向的改变和能量叠加现象,同样经过透镜L2和反射镜M2后,激光切割机光束将再一次叠加。这样经过多次的光束叠加后,其初始的高斯光束能量分布将被均匀化。
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